Diverse SCHMID Module im Paket

Angaben L x B x H,
+ in Klammern  =  zusätzliche Länge oder Höhe für Rohre, Anschlusse, etc..

Modul 6         1460 (+120) x 625 x 1110 (+700) mm    

2-fach Sprühmodul WMT, ehem. Nutzung: Resist-Stripper, keine Transportwalzen, Pumpen + Kühlung vorhanden, Heizung fehlt.

Modul 7         1050 (+100) x 625 x 525 mm                               

Leermodul WSM 2, ehem. Nutzung: Strippmodul, HD Sprührohre vorhanden, aber demontiert, Pumpenanschluss fehlt, kein Transportsystem

Modul 8         1460 (+120) x 625 x 1110 (+700) mm                

Modul 11       1040 (+300) x 625 x 675 (+700) mm                  

Replenish-Modul FAM 2, ehem. Nutzung: Ätzmaschine Replenisher, Transport vorhanden, Sprührohre teilweise vorhanden

Modul 12       1460 (+300) x 1380 x 1110 (+700) mm             

5-fach Kaskade, KSM (K) 5, ehem. Nutzung: alkalische Spüle / Ätze, keine Sprührohre, Transportwalzen vorhanden, 2 Pumpen fehlen

Modul 14       1460 (+310) x 875 x 1110 (+840) mm               

2-fach Spülmodul WMT 3, ehem. Nutzung: Resist-Stripper, HD-Pumpe fehlt, Transport vorhanden, Sprührohre teilweise demontiert

Modul X3 M14          875 (+90) x 280 x 1050 mm, Schaltschrank